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北京大學(xué):三維微應(yīng)變片-多功能模塊化觸覺傳感器集成

更新時間:2025-03-18   點擊次數(shù):86次

柔性觸覺傳感器在人機界面、機器人操作、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。然而,它們?nèi)彳浀耐庑我蛩貐s在與基于晶圓的設(shè)備、商業(yè)芯片或電路板的集成方面提出了挑戰(zhàn)。


近日,為了克服上述挑戰(zhàn),北京大學(xué)韓夢迪團隊介紹了一套靈活的模塊化觸覺傳感器的制造方法、器件設(shè)計、集成策略和生物醫(yī),實現(xiàn)了與商業(yè)電子的兼容。傳感器利用光刻技術(shù)制備的金屬或合金細線作為傳感元件。將這些元件布置在三維空間中,可以精確、無滯后、解耦地測量溫度、法向力和剪切力。將這些傳感器組裝在柔性印刷電路板上,與商業(yè)電子產(chǎn)品一起形成各種柔性電子系統(tǒng),具有皮膚界面無線測量、生物力學(xué)信號連續(xù)監(jiān)測和觸覺信息空間映射的能力。靈活的模塊化觸覺傳感器擴展了微電子和宏觀電子的功能組件組合。

來源:傳感器專家網(wǎng)

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